項(xiàng)目概況

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng) 招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在上海市共和新路1301號(hào)C座108室獲取招標(biāo)文件，并于2020年10月19日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）前遞交投標(biāo)文件。

一、項(xiàng)目基本情況

項(xiàng)目編號(hào)：STC20A280

項(xiàng)目名稱：中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)

預(yù)算金額：190.0000000 萬(wàn)元（人民幣）

最高限價(jià)（如有）：190.0000000 萬(wàn)元（人民幣）

采購(gòu)需求：

二維IC工藝和三維MEMS加工而成的異質(zhì)集成的傳感器表面會(huì)有各種臺(tái)階、高深寬比的孔洞、槽等結(jié)構(gòu)，需要臺(tái)階覆蓋能力強(qiáng)的薄膜沉積技術(shù)。此外，由于材料晶格結(jié)構(gòu)、熱膨脹系數(shù)的差異，異質(zhì)集成的襯底不可避免的會(huì)出現(xiàn)翹曲，需要保形薄膜沉積技術(shù)；圓片級(jí)的異質(zhì)集成封裝涉及各種襯底，需要一種新的低溫鍵合技術(shù)。高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)的主要功能為：（1）具有三維保形薄膜沉積能力，具有良好的臺(tái)階覆蓋能力，能在高深寬比的孔洞中進(jìn)行薄膜沉積；（2）以沉積的納米薄膜為媒介能實(shí)現(xiàn)封裝蓋板和各種異質(zhì)集成襯底之間的低溫鍵合；（3）對(duì)200mm晶圓，薄膜厚度不均勻性小于±1%。具體詳見招標(biāo)文件第八章。

合同履行期限：合同簽訂后6個(gè)月內(nèi)。

本項(xiàng)目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。

二、申請(qǐng)人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定；

2.落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的資格要求：

節(jié)約能源、保護(hù)環(huán)境、扶持不發(fā)達(dá)地區(qū)和少數(shù)民族地區(qū)、促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展、支持監(jiān)獄、戒毒企業(yè)發(fā)展、促進(jìn)殘疾人就業(yè)、優(yōu)先采購(gòu)貧困地區(qū)農(nóng)副產(chǎn)品等政府采購(gòu)政策。

3.本項(xiàng)目的特定資格要求：1）近三年內(nèi)（本項(xiàng)目招標(biāo)截止期前）被“信用中國(guó)”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的、被“中國(guó)政府招標(biāo)網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府招標(biāo)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單（處罰期限尚未屆滿的），不得參與本項(xiàng)目；2）單位負(fù)責(zé)人***

三、獲取招標(biāo)文件

時(shí)間：2020年09月26日  至 2020年10月09日，每天上午9:00至11:30，下午13:00至16:30。（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）

地點(diǎn)：上海市共和新路1301號(hào)C座108室

方式：網(wǎng)上購(gòu)買或現(xiàn)場(chǎng)購(gòu)買（詳見特別告知）

售價(jià)：￥500.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和

四、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)

提交投標(biāo)文件截止時(shí)間：2020年10月19日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）

開標(biāo)時(shí)間：2020年10月19日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）

地點(diǎn)：上海市共和新路1301號(hào)C座1樓會(huì)議室

五、公告期限

自本公告發(fā)布之日起5個(gè)工作日。

六、其他補(bǔ)充事宜

現(xiàn)場(chǎng)購(gòu)買：有意向的投標(biāo)人可攜帶報(bào)名表（詳見招標(biāo)公告附件）、營(yíng)業(yè)執(zhí)照復(fù)印件（加蓋公章）、法人代表授權(quán)書原件、被授權(quán)代表身份證（復(fù)印件加蓋公章））至上海市共和新路1301號(hào)C座108室進(jìn)行報(bào)名購(gòu)買招標(biāo)文件。

 網(wǎng)上購(gòu)買：有意向的投標(biāo)人將報(bào)名表（詳見招標(biāo)公告附件）、營(yíng)業(yè)執(zhí)照掃描件、法定代表人（單位負(fù)責(zé)人***

招標(biāo)文件售價(jià)：每包件售價(jià)人民幣 500 元（招標(biāo)文件售后不退）。

注：我公司只接受公司轉(zhuǎn)賬，不接受個(gè)人轉(zhuǎn)賬。

開戶名：上海中招招標(biāo)有限公司

開戶銀行：中國(guó)民生銀行上海虹橋支行

銀行帳號(hào)：0208014210004789

摘要：STC20A280標(biāo)書費(fèi)或投標(biāo)保證金

七、對(duì)本次招標(biāo)提出詢問，請(qǐng)按以下方式聯(lián)系。

1.采購(gòu)人信息

名 稱：中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所　　　　　

地址：***

聯(lián)系方式***

2.采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)信息

名 稱：上海中招招標(biāo)有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：***

聯(lián)系方式***

3.項(xiàng)目聯(lián)系方式

項(xiàng)目聯(lián)系人***

電　話：***