勻膠旋涂儀

交付地: 廣州市華南理工大學(xué)五山校區(qū)

申購編號：HW2014000627

發(fā)布時間:2014-6-19 17:19:27

截止時間:2014-6-23 17:18:36

　申購單位

　材料科學(xué)與工程學(xué)院

整批采購

產(chǎn)品編號

1

　設(shè)備名稱

　勻膠旋涂儀

相關(guān)附件

　數(shù)量

　1臺

　品牌和廠家

　

　規(guī)格/型號

　品牌：Laurell 型號：WS-650Mz-23NPP

　保修

　2年

　具體技術(shù)要求

　1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)； 2、* Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm； 3、* 轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm， 4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空載）； 5、* 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差 < ±1%； 6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度： <0.2rpm，重復(fù)性 < 0.2rpm； 7、* 工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度； 8、* 勻膠機(jī)材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方； 9、* 高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。 10、* 程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)； 11、* 分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的，并且無需再校準(zhǔn)！] 10． * 電子絕緣負(fù)載雙保護(hù)裝置； 11． 嵌鎖的安全蓋板； 12． 防腐裝置； 13． 保護(hù)氣體裝置：旋涂過程中可以充氮?dú)夂蛪嚎s氣體，對旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)； 14．配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲； 15．真空泵參數(shù)：25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)，抽速：4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) 。 16、* 配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件； 17、* 原裝進(jìn)口水平測試儀； 18、* 兩袋密封圈； 19、* 廢液接收單元； 2、電源220VAC/50Hz, 功率300W，單相電（接地）； 3、充氮?dú)饣蛘吒稍锟諝獾膲毫π枰旱獨(dú)饨涌诳趶绞?mm，壓力4.2-4.9 bar 即60~70 PSI。 4、真空度40-60psi（15-25 Inch Hg）。

　報(bào)價(jià)及供貨要求：

　必須提供原裝原廠新貨品；1、以人民幣報(bào)價(jià)的項(xiàng)目，必須含稅；以外幣報(bào)價(jià)的項(xiàng)目，必須按照CIF廣州港進(jìn)行報(bào)價(jià)； 2、辦公家具、實(shí)驗(yàn)室家具等項(xiàng)目競價(jià)完畢后，如用戶單位如需要提供樣品，競價(jià)單位則必須要提供，因此，報(bào)價(jià)時必須考慮。